衡阳真空机电设备有限公司

产品介绍： 用途 可适用于PVD、CVD技术以金属、半导体靶材制备高密度、高硬度、高亮度、高透明度的单质、化合物膜层。 特点 1、采用先进的逆变技术和IGBT功率开关器件设计 2、采用PWM控制技术、恒流特性好、电源控制精确 3、自动恒流输出，不随气压变化，提高沉积速率，工艺重复性好 4、抑制靶材弧光放电及抗短路功能，内置电子电抗，具有极佳的负载匹配能力 5、LED数码电流、电压显示、清晰直观 6、轻巧、高效、节能。同等功率比可控硅电源节约电能40%以上 7、模块化设计、全系列产品风冷长期稳定性好，可N+1备份、保障安全生产 8、可根据用户量身定做设计制造特种电源系统 主要技术项目 项目　　　　　　　　　　　DC—10kw　　DC—20kw　　DC—30kw　　DC—40kw 输入电源电压频率（V、Hz）　AC380+N　　AC380+N　　　AC380+N　　AC380+N 三相四线　　　　　　 　+15%,50/60　+15%,50/60　+15%,50/60　+15%,50/60 输出电流调节范围（A）　　　0～15　　　0～30　　　　0～45　　　　0～60 稳流精度　　　　　　　　　　≤1%　　　　≤1%　　　　≤1%　　　　≤1% 额定输出电压（ACV）　　200～1000　　200～1000　　200～1000　　200～1000 负载持续率（%）　　　　　　　85　　　　　85　　　　　85　　　　　85 重量（KG）　　　　　　　　　25　　　　　35　　　　　40　　　　　70 外形尺寸（mm）　　　　　　650(D)×480(W)×250(H)　860(D)×600(W)×600(H) 绝缘等级　　　　　　　　　　　B　　　　　B　　　　　　B　　　　　B 效率（%）　　　　　　　　　　90　　　　　90　　　　　90　　　　　90 功率因数COSΦ　　　　　　 0.93　　　　0.93　　　　　0.93　　　　0.93 外壳防护等级　　　　　　　Ip21　　　　　Ip21　　　　Ip21　　　　Ip21 工作模式　　　　　　　　　恒压、恒流、恒功率可任意选择，常规恒流输出 外部接口　　　　　　　　　　　本系列产品，均可设微机式PLC控制